오로스테크놀로지 오버레이 계측 장비 국내 유일!

출처 : https://www.saramin.co.kr/zf_user/company-info/view/csn/T3k3OC9GRmpTa2JCRTRpdEtudXZoZz09/company_nm/(%EC%A3%BC)%EC%98%A4%EB%A1%9C%EC%8A%A4%ED%85%8C%ED%81%AC%EB%86%80%EB%A1%9C%EC%A7%80

[ 이오테크닉스

레이저 장비 업체의 대명사 ]

https://1wndlf.tistory.com/449

 

 

 

1. 오로스테크놀로지는?

  Auros Technology 오로스테크놀로지는

반도체 전공정 오버레이 계측 장치

전문 기업이다.

 

  2009년 설립돼

2011년 1세대 상업용

Overaly 오버레이 계측 장비

OL-300n 출시로 국내 최초

오버레이 계측기 국산화에 성공했다.

 

  이후 꾸준히 제품 라인업 확장을 해

2020년 12월 5세대 장비

OL-900n 출시까지 성공했고,

 

  본 과정을 거쳐오면서

오버레이 계측 및 인스펙션 관련

원천기술을 다수 보유하고 있다.

 

  에프에스티의 계열사로 상장했고,

에프에스티 34%,

시엠테크놀로지 17%,

장영식 5.4%

지분율을 나타내고 있다.

 

  2020년 10월

중소벤처기업부가 선정한

소재 / 부품 / 장비 강소기업 100에 선정돼

국가대표 소부장 기업임을 증명했고,

 

  2021년 2월 24일

기술성장기업 특례 상장으로

소재부품전문기업에 대한

상장지원방안이 적용됐다.

 

  공모자금은 생산시설 CAPA와

R&D 센터 확충과 같은 시설자금과

Mass/Thin Flim Metrology,

Package Inspection 같은

신규 아이템 개발을 위한

연구개발자금 등에 사용하고 있다.

 

  특히 Thin Film 박막 계측장비는

칩 소형화와 복합화에 따른

패키지 장비 수요 증대로

검사장비 수요 대응을 위한 것인데

추후 오버레이 계측장비보다

더 큰 규모의 시장을 형성하리라

예상하고 있다.

 

  오로스테크놀로지의 최대 고객사는

2017년 이래 sk하이닉스

( 매출의 80% 이상,

 sk하이닉스 내 점유율 50% 내외 )이고,

삼성전자와 중국 반도체 업체들의

매출 비중을 늘리고 있는 추세다.

 

  반도체 제품별 판매 비중은

DRAM 49.2% /

NAND 29.5% /

Logic 11.5% /

Pachage 4.9% /

기타 4.9%이며,

 

  2019년 기준 제품별

매출 비중은 4세대 OL-800n이

86.5%로 대부분을 맡고 있다.

 

2. 제품/상품

  오버레이 계측장비는

노광 공정 직후 회로설계대로

상층부와 하층부 간 수직 정렬에

맞게 적층됐는지 계측하기 때문에

반도체 칩 생산 수율 향상과

직접적인 연관성이 있는 필수 장비다.

 

  즉, 반도체가 적층되는 과정에서

반도체 웨이퍼 Wafer의 회로패턴인

하부 패턴과 상부 패턴 간의

정렬 상태를 정비하는데,

 

  반도체 공정에서 가장 중요한

노광과 관계가 밀접한 측정 장비이기

때문에 높은 수준의 기술력이 필요하다.

 

  보통 반도체는 전공정과 후공정을

거쳐 만들어지는데,

반도체 웨이퍼에 회로패턴을 입력하는

전공정은 노광 / 식각 / 세정 / 증착 /

이온주입 / 확산 / CMP 과정을 거친다.  

 

  이 과정을 반복하면서

회로패턴을 적층해갈 때

회로 패턴 간 정렬 오차가

발생하는지를 검사하고 제어하는 것이

바로 오버레이 장비다.

 

  회로패턴의 수직 적층 정렬도를

확인하려면 Overlay Target

오버레이 타겟을 이용하고 있으며,

이를 통해 웨이퍼 회로패턴을

확인할 수 있다.

 

  반도체 웨이퍼에 회로를 새기려면

수백 번의 반복 작업이 요구되는데

반도체의 미세공정 난이도가

계속해서 높아지고 있어

측정 검사 Step 수 역시 비례해서

증가하고 있고, 빠른 측정 속도 또한

요구되고 있다.

 

  오로스테크놀로지의 제품은

DRAM 10nm 초반, 3D NAND 200단,

Logic 2-3nm까지 측정 가능하며

8인치 패키지용 장비까지

확장할 계획이라 밝혔다.

 

[ 피에스케이홀딩스와 피에스케이

그리고 Advanced 패키징 ]
https://1wndlf.tistory.com/518

 

 

 

3. 성장모멘텀

  전 세계적으로 오버레이 장비를

제조할 수 잇는 기업은

KLA, ASML, 오로스테크놀로지 정도를

꼽을 수 있다.

 

  각 사별 시장 점유율은

60%, 30%, 10% 수준이다.

 

  일반 반도체를 기준으로 했을 때

노광 스텝 수가 80~100개 정도인데,

과거 노광 장비 1대 당 오버레이 계측

장비도 1대가 소요됐고,

근래에는 1.5대로 늘어났다.

 

  멀티패터닝과 낸드 고단화,

그리고 EUV, Extreme Ultraviolet

시대가 도래하면 1대당 최대 4대까지도

증가할 가능성이 열려있다.

 

  2021년에도 파운드리와

로직 반도체 투자가

크게 증가하고 있고,

 

  미국 정부의 자국 내

반도체 투자 압박도 심해지고 있어

장비 업체들에게는 호재에 해당한다.

 

  위와 같은 추세로

연평균 20% 내외의 고성장과

2024년까지 12인치, 8인치

팹 증설이 각각 40개, 10개로

예상되고 있다.

 

 

  사실 패턴의 선폭을 측정하거나

결함을 검사하는 분야에서

국산화율은 제로에 가까웠지만,

 

  오로스테크놀로지는

미세한 회로패턴을 정밀 검사할 수 있는

광학 및 초점 기술도 갖추고 있고,

독자적인 오버레이 타겟도 개발했다.

 

  오로스테크놀로지만의 독자적인

구조로 만들어진 오버레이 타겟은

기존 경쟁품 타겟 대비

절반 정도의 면적에서

비슷한 수준의 정밀 측정 성능 구현을

실현시켜 sk하이닉스로부터

기술혁신기업으로 선정됐다.

 

  다시 말해 오로스테크놀로지는

KLA와 ASML이 독점하고 있는

오버레이 계측 장비 시장에

도전장을 낸 유일한 기업이고,

이들의 점유율을 뺏어오고 있다.

 

4. 촌평

  오로스테크놀로지는

글로벌 경쟁사들보다 본 시장에

후발주자로 발을 내딛었지만,

 

  경쟁사 대비 빠른 신제품

출시 전략을 바탕으로

우수한 성능에 더해

가격 경쟁력을 갖췄고,

 

  대한민국 특유의

신속한 고객대응을 무기로

반도체 장비 국산화에

박차를 가하고 있다.

 

  더불어 오버레이 계측장비는

진입장벽이 매우 높음과 동시에

협력사와 관계를 구축한 후에는

지속해 나가는 것이 특징이다.

 

  이에 오로스테크놀로지는

복합 Chip 소형화와

화합물 반도체 시장 확대에 따라

측정 검사 장비 수요 증대에

대응코자 제품 개발을 지속하고 있다.

 

 

  일각에서는 오버행으로 인한

물량 출회를 예측하고 있어

위기이자 기회가 될 수 있다.

 

  오버행 이슈와는 별개로

오로스테크놀로지는 다양한

연구과제를 수행하고 있다.

 

  차세대

Overlay Metrology System 개발,

 

  Through Silicon

Overlay Metrology System 개발,

 

  Optical MEMS Metrology 개발,

 

  Next Generation Overaly  선행개발,

 

  WLI 기술을 이용한

Wafer Profiler 개발,

 

  Wafer Backside Inspection.

 

 

2021년 7월 29일 종가 기준 37,250원

 

  본래 포스팅하려 했던 날에 비해

주가가 3,000원 가량이나 올라

아쉬운 마음을 감출 수가 없었다.

 

[ 하나머티리얼즈

반도체 식각 장비 공급 업체 ]

https://1wndlf.tistory.com/52