엘오티베큠 반도체 제조 공정에서 필수인 건식진공펌프 생산 기업

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[ 오로스테크놀로지

오버레이 계측 장비 국내 유일! ]

https://1wndlf.tistory.com/394

 

 

 

1. 엘오티베큠은?

  엘오티베큠은 2002년 6월

Leybold Vacuum Korea

한국 라이볼트베큠사 직원들이

160년 역사를 자랑하는

독일 세계 최초 진공펌프회사

Leybold Vacuum의 Dry Vacuum Pump

건식진공펌프 사업을 인수해

MBO 방식으로 설립됐다.

 

  MBO, Management Buyout은

회사 내의 경영진과 임직원에 의해

기업 또는 일부 사업부를 인수하는

방법을 말한다.

 

  여기서 진공기술이란

인위적으로 진공상태를 만들어서

산업생산과 과학실험이

가능하게 하는 기술이며,

반도체, 디스플레이, 태양광 산업 등의

제조공정에서는 반드시 있어야 한다.

 

 즉, 진공펌프는 진공기술을 구현하는데

핵심장비 역할을 하기 때문에

기술 진입장벽이 매우 높아

전세계에서 10여 개 업체만이

핵심기술을 보유하고 있다.

 

 

  엘오티베큠은 2010년 대

반도체, LED, 디스플레이 태양광

전공정 장비에 적용되는

진공펌프 제조 업체였고,

 

  반도체 관련 매출 비중이

95%에 달하는 기업이었다.

 

  현재 엘오티베큠은 삼성전자,

삼성디스플레이, sk하이닉스 등을

주요 고객으로 하는

진공펌프 제조 기업이다.

 

  Chemical Vapor Deposition,

IC 집적회로 등의 제조공정에서

기판 위에 규소 등의 박막을 만드는

공업적 수법으로 CVD,

Diffusion ( 확산 )은 Wafer 웨이퍼에

불순물을 주입해 전류가 흐를 수 있도록

반도체 소자 영역을 만들어주는 방법인데,

 

  2020년 전까지

주로 두 공정에 사용되는 펌프를

주력으로 생산했었고,

 

  현재는 Lithography 리소그래피

공정을 제외한 반도체와

디스플레이 전공정에 사용되는

건식진공펌프를 제조하고 있다.

 

  리소그래피는 극히 미세하고

복잡한 전자회로를 반도체 기판에 그려

집적회로를 만드는 기술이다.

 

  기판 공정에는

Diffusion, Ion Implantation,

Etch, thin film deposition과

배선공정 CVD, PVD 등이 있다.

 

  장비 내 Chamber를 진공상태로

만들기 위한 펌프로는 저진공펌프

( 오일 로터리 펌프, 건식진공 펌프 ),

고진공펌프

( 터포펌프, 크라이오 펌프 )가 있다

 

2. 제품/상품

  엘오티베큠은 삼성전자와

sk하이닉스의 3D NAND 공정에

사용되는 진공펌프도 공급하고 있는데,

 

  두 회사가 2020년을 전후로

반도체 제품 내 3D NAND 비중을

확대하고 있어 직접적인 수혜를

기대할 수 있다.

 

  반도체와 OLED패널을 생산할 때

증착과 에칭 등 거의 모든 공정이

진공 상태에서 진행되기 때문에

해당 장비의 높은 진공도를

유지시켜주는 건식진공펌프가

전공정의 핵심 역할을 맡게 됐다.

 

  최근에는 3D NAND 고단화와

파운드리 공정 미세화 등의 이슈로

고용량 건식진공펌프의 사용량 증가가

예견돼 추후 고객사 3사의 전공정

투자 확대 시 엘오티베큠 입장에서

한 단계 더 큰 도약을 기대할 수 있다.

 

  건식진공펌프는

반도체 제조과정에서 발생하는

공정부산물을 제거하는데 활용되고,

공정장비당 4~6대의 진공펌프가

장착된다.

 

  특히 초고진공 영역으로 분류되는

Etching, CVD 공정에서도

없어서는 안되는 설비다.

-> 엘오티베큠의 진공펌프는

CVD 공정에 최적화된 기술로

우수성을 인정받았다.

 

  반도체 회로의 선폭이

지속적으로 좁아지면서

완벽한 오염 제거의 중요성이

대두됨에 따라 부산물 처리 능력이

탁월한 진공펌프의 중요성이 주목받고 있다.

 

 

  앞에서 언급했던 바와 같이

진공펌프 제조 기술은 특정 장비와의

적합성과 공정 노하우 등

기술 진입장벽이 매우 높아

영국, 일본, 프랑스, 독일 등에 속한

10여 개 업체만 핵심 기술을을 갖고 있었고,

 

  엘오티베큠이 탄생하기 전까지

국내 반도체용 진공펌프 시장은

영국 에드워드 Edwards,

독일 에딕슨 Erikson 등

해외업체가 과점하고 있었으며,

 

  이외에 프랑스 알카텔 Alcatel,

일본 카시야마 KASHIYAMA,

일본 EBARA 에바라 등을 꼽을 수 있다.

 

[ ISC 반도체 파이널 테스터용

Final test 소켓 제조 업체. ]
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3. 성장모멘텀

  엘오티베큠은 국내 유일의

건식진공펌프 회사임과 동시에

사업 다각화 방안으로

반도체 Etching 공정 신규 진입과

신규 고객사 확보에 집중하고 있다.

 

  게다가 삼성전자와 sk하이닉스의

메모리 및 비메모리 전공정 장비

투자 확대, 전공정 장비 국산화,

 

  ESG 경영 대두로 습식진공펌프에서

친환경 방식인 건식진공펌프의

수요 증가로 엘오티베큠의 2021년

매출액과 영업이익은 역대 최대를

기록할 것으로 전망하고 있다.

 

  2021년 하반기에는 경쟁사가

독과점 중이었던 Diffusion 공정과

로드 록 Load Lock에서

국산화를 진행하고 있다.

 

  Load lock 로드 록은

진공 장치 전체의 진공 상태를

깨지 않은 채 시료를 넣고 빼는

방법을 말한다.

 

 

  건식진공펌프는 짧은 배기경로로

오염도가 낮고 내구성이 우수하다.

 

  더불어 회전체에 오일을

사용하지 않아 펌프 자체에서

나오는 배출물이 거의 없고,

공정 부산물 처리에 유리하다.

 

  반면에 습식진공펌프는

배기경로가 길어 오염가능성이

높아 내구성이 떨어지고,

 

  진공 환경 형성을 위해

주기적으로 오일을 교체해야 해

환경오염을 유발함은 물론

공정 부산물 처리에 취약하다.

 

 

  현재 삼성전자는 반도체 EUV 공정에

대규모 투자를 하고 있는데,

기존 공정보다 더 복잡한

EUV 노광공정은 고성능의 진공펌프를

다수 필요로 한다.

 

  아쉽게도 EUV 장비를 생산하는

ASML에 영국 에드워드사가 진공펌프를

독점적으로 공급하고 있는 것으로

추정하고 있으나,

 

  EUV 라인을 중심으로 한

DRAM, V-NAND 생산이 증가한다면

엘오티베큠 역시 이득을 볼 수 있다.

 

4. 촌평

  진공펌프는 반도체 전공정에서

필수적인 부분을 차지한다.

 

  엘오티베큠의 건식진공펌프

핵심기술은 Screw Type의

횐전자를 제작하는 정밀성과

회전내구성이다.

 

  건식진공펌프는

고압으로 공정장비 내의 기체를

유출시켜야 하기 때문에

고속회전을 견딜 수 있는 내구성과

Screw 사이에 윤활유조차

사용할 수 없을 정도의 정밀성이 필요하다.

 

  또한 수선과 보수 사업부문 매출도

자연히 진공펌프 보급대수에 비례해

성장하고 있어 안정적인 캐시카우

Cash-Cow 역할을 하고 있다.

 

  펌프 안에서 스크류 회전체가

24시간 6,000rpm 수준에서

고속회전하면 마모가 발생해

CVD 공정에서도 화학물질이나

가스에 노출되면서 손상을 입게 된다.

 

  그래서 1년에 1~2회 정도

유지보수가 필요하기 때문에

타장비 수선/보수 시장 대비

비교적 규모가 크고,

5~7년마다 교체수요도 발생한다.

 

  무엇보다 IT 외에도

화학 / 철강 / 식품 / 제약 등

일반산업 시장으로도

진공펌프 장비 보급 및 사용량이

확산될 것으로 전망하고 있다.

 

2021년 7월 19일 종가 기준 16,450원

 

[ 디아이 DDR5 교체와

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