파크시스템스 원자현미경 대한민국 1위

출처 : https://ko.wikipedia.org/wiki/파크시스템스

[ 피에스케이홀딩스와 피에스케이 그리고 Advanced 패키징 ]
https://1wndlf.tistory.com/518

 

 

 

1. 파크시스템스는?

  파크시스템스는 1997년

수천 만 배 배율의 원자현미경

AFM, Atomic Force Microscope을

생산하는 기업으로 설립됐다.

 

  즉, 원자현미경을 전문으로 하는

나노계측기기 업체라 할 수 있다.

 

  본사는 서울에서 수원으로 이전했고,

미국, 일본, 싱가포르, 독일에 현지 법인,

대만과 중국에는 연락사무소,

유럽 및 아시아 주요국들에

대리점 판매망을 갖추고 있다.

 

  특이점으로 파크시스템스

박상일 대표는 원자현미경을

세계 최초로 개발했다고 알려진

Stanford University

미국 스탠포드대학교

켈빈 퀘이트 교수 연구진 출신으로

알려져 있다.

 

  그는 1988년

세계 최초의 원자현미경 회사

Park Scientific Instruments, PSI를

창업했고, 실리콘밸리 벤처기업으로

자리잡은 뒤에 PSI를 매각하고

한국으로 귀국해 파크시스템스를 설립했다.

 

  파크시스템는 2000년 대 중후반

기존에 AFM을 사용하던 미국의

하드디스크 업체에서 당사의

비접촉 모드의 장점과 가치를 보고

경쟁사인 브루커 대신 채택하면서

경쟁력을 증명하기 시작했다.

 

  파크시스템스는 직교성이 높은

 스캐너인 플랫스캐너로 넌컨택모드를

 시현하고 있는데 특허 보유를 통해

 타사의 침입이 어렵고,

 

  무엇보다 이전에는 원자현미경이

반도체 연구용에만 활용돼 왔지만

이제 소재, 화학, 생명공학, 제약,

전자, 반도체, 융합연구처럼

여러 산업분야에 활용될 수 있다.

 

  현재는 미국 Bruker사가

세계 M/S 40% 이상으로 업계 1위,

뒤를 이어 파크시스템스,

Oxford Instruments, Keysight Tech가

후발 그룹을 형성하고 있다.

 

  파크시스템스의 원자현미경

주요 고객으로는 IMEC, IBM, LG,

삼성전자, 삼성종합기술원, TSMC,

sk하이닉스, 마이크론, 인텔 등이 있고,

 

  Park NX-Wafer 장비는

GLOBAL FOUNDRIES, FUJIMI,

인피니온 INFINEON,

어플라이드 머트리얼즈

APPLIED MATERIALS,

마이크론 Micron,

ST ELECTRONICS, 시네츠와 같은

반도체, 웨이퍼 기업에 납품되고 있다.

 

2. 제품/상품

  원자현미경은 전자현미경으로

측정이 불가능한 극미세 구조를

고해상도로 관측할 수 있게 한다.

 

  기존 수천 배였던 광학에서

수십 만 배인 전자현미경,

그리고 이제는 수천 만 배에 달하는

높은 시료 분해능력을 갖춰

3차원 관찰이 가능한 원자현미경으로

중심축이 옮겨가고 있다.

 

  그렇기에 반도체, 바이오,

나노기술 연구 분야에서

수요가 가파르게 상승하고 있다.

 

  원자현미경은 10나노 이하에서

강점을 보이고 우선적으로

1세대 광학, 2세대 전자현미경과 함께

부착 형식으로 점유율이

높아지리라 예상되고 있다.

 

  물론 현재로서는

전통적 반도체장비들인

증착장비, 식각장비, 노광장비처럼

생산라인에서 10K 당 몇 대가 필요한지

수치화하기 어렵지만,

 

  시장 추이를 놓고 봤을 때

파크시스템의 원자현미경은

반도체 시장에서 80% 안팎의

점유율을 갖고 있는 것으로 보이며,

 

  여러 대의 원자현미경 수주가

계속해서 창출되고 있다.

 

  산업용 원자현미경의 경우

납품까지 3~4개월 정도 필요하다.

 

 

  앞에서 언급한 Park NX-Wafer는

웨이퍼의 조도 및 트렌치를 측정하는

장비로 기존 광학 장비로 검출이

불가능한 웨이퍼의 나노 크기의 결함을

자동으로 검출해서 분석할 수 있어

반도체 기업들이 새롭게 추가하고 있다.

 

  또한 메모리 뿐 아니라 비메모리로

전공정 검사용으로도 적용 가능하다.

  

  수익성 면에서는 산업용 장비가

현미경보다 더 낫고,

 

  DRAM이 비메모리 분야에서

미세화가 진행될수록 파크시스템스에

유리한 영업 환경이 조성되고 있으며,

 

  마이크로미터급 검사보다

상위 개념이자 까다로운

나노미터급 반도체 미세화 분야에서

파크시스템스는 레퍼런스를

글로벌 기업들을 대상으로 확보하고 있다.

 

[ 동아엘텍 OLED 검사장비와 선익시스템 Micro OLED 장비 ]
https://1wndlf.tistory.com/493

 

 

 

3. 성장모멘텀

  파크시스템스는 고객사 다변화를

목표로 파운드리 업체들과

종합반도체 기업들의 수주를

이끌어내기 위해 노력하고 있다.

 

  파크시스템스의 원자현미경이

브루커 Bruker와 다른 점은

시료의 비접촉 방식이기에

유지비용도 절약 가능하고,

이미지 왜곡 현상이 거의 일어나지

않아 경쟁사 보다 높은 정확도를

나타낸다는 장점이 있다.

 

  다시 말해 탐침의 마모가 없어

반복 측정을 할 때 재현성이 높아

사용자의 편의성이 극대화되고,

자연히 높은 경쟁력을 확보할 수 있다.

 

  더불어 비접촉식, 평면식,

비레이저방식 기술이 우월하다.

 

  파크시스템스는 전 세계적으로

반도체 미세화 추세와

높은 기술 장벽으로 지속적인 성장을

보일 것으로 예측된다.

 

  아직까지는 미국 내

연구용 원자현미경 시장에서

Bruker 브루커의 점유율을

넘기에는 무리가 있지만,

중화권과 유럽권을 중심으로

점유율 확대에 집중하고 있다.

 

  2020년까지 파크시스템스의

산업용 원자현미경 중 70%는

반도체에서 창출되고 있다.

 

  주목할 점은 반도체 업계에

원자현미경의 본격 사용이

이제 막 시작됐고,

반도체용 원자현미경 수요는

매년 30%의 고성장을 이룩하고 있다.

 

  또한 패키징 방식이

고도화 되면서 기존 전공정에서

후공정으로까지 사용 범위가 확대될

가능성이 매우 크다.

 

 

  반도체 뿐만 아니라 바이오 시장도

주목해야 한다.

 

  전자현미경으로는 생존해 있는

세포나 용액 내부까지 측정할 수 없어

이를 해결할 수 있는 원자현미경이

업계에서 주목받고 있다.

 

* 전자현미경 SEM

 Semiconductor Metrology

- 진공에서만 사용이 가능하다.

 

- 정교하고 복잡한 시료 준비 과정이

필요하다.

 

- 정량적 입체 정보 측정이 불가하다.

 

- 전지밥으로 시료가 손상된다.

 

* 원자현미경 AFM

- 공기, 진공, 용액 안에서도

사용이 가능하다. -> 측정 환경 무관.

 

- 시료 준비 과정이 필요 없다.

 

- 높낮이, 각도, 거칠기 등

정량적 3차원 형상 정보도

제공이 가능하다.

 

- 다양한 물리적 특성을 측정할 수 있다.

 

- 높은 분해능력과 해상도를

표현할 수 있다.

 

4. 촌평

  2018년 파크시스템스는

경쟁 업체들로부터 대규모 인재

스카우트를 통한 핵심인재 충원

( -> 인건비 증가 ),

 

  해외 시장 개척을 위한 지사 설립

( -> 마케팅 및 각종 비용 증가 ),

 

  2020년 COVID-19에 의한

반도체 업황 둔화로 어려운 시기를

보내기도 했지만,

 

  기존 제품들의 시장 안착,

고객 다변화를 통한 저변 확대로

극심한 상저하고 실적 패턴에서

벗어나는 모습을 보이고 있다.

 

  개인적으로는 아쉬운 기업 중

하나다. 주가가 45,000원을 형성할 때

파크시스템스를 알게 됐는데,

그때까지만 해도 파크시스템스의

잠재력을 과소평가했던 것 같다.

 

  하지만 분명한 건

지금도 결코 늦지 않았다는 점이다.

 

 

  2020년 실적은 매출 712억 원,

영업이익 150억 원으로

2019년 대비 오히려 각각 37%, 86%

성장하는 모습을 보여줬다.

 

  아울러 영업이익률은

20~30%로 매우 높은 수준이다.

 

  2020년 매출 구성은

산업용 73% / 연구용 18% /

기타 9%를 기록했다.

 

2021년 9월 27일 종가 기준 112,600원

 

[ 칩스앤미디어 비디오 IP와 반도체 IP 설계 자산 전문 기업 ]
https://1wndlf.tistory.com/496

 

 

 

* 용어 설명

- 원자현미경 :

  원자현미경에서 사용되는 탐침과

캔틸레버는 마이크로 머시닝으로

제작돼 캔틸레버의 크기는

길이 100um, 폭 10um, 두께 1um,

 

  캔틸레버 끝에 부착된 탐침은

높이 10um, 직경 10nm 정도로

분해능과 응용 분야에 따라

여러 종류의 탐침을 사용할 수 있다.

 

  원자현미경의 종류는

작동방식으로 나눌 수 있다.

 

  시료와 계속 접촉하는 접촉모드

Contact mode,

간헐적으로 접촉하는 태핑모드

Tapping mode,

전혀 접촉하지 않는 비접촉 모드

Non-Contact-mode.

 

  비접촉모드는 탐침이 마모되지 않고

시료의 오염과 손상을 야기하지 않아

타 모드에 비해 유리하다.

 

  논 컨택트 모드가 실현되려면

탐침과 시료 사이의 간격이

~1nm 내로 유지돼야 하는데,

 

  파크시스템스의 원자현미경이

비접촉모드가 가능한 이유는

z축의 움직임을 충분히 빠르게

구현할 수 있기 때문이다.

 

  현재로서 원자현미경은

반도체 생산에서 전공정에서만

사용되고 있고, 클린룸 바깥의 분석실,

반도체 양산 검사계측 MI룸에

들어가 팹당 2대 정도 필요한 것으로

추정할 수 있다.

 

[ 테크트랜스 세계 최초 저전압 플라즈마 전해산화기술 TAC ]

https://1wndlf.tistory.com/155